Fratz, MarkusMarkusFratzBeckmann, TobiasTobiasBeckmann2022-03-082022-03-082016https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/310904Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche durch interferierende Überlagerung einer von der Oberfläche reflektierten und/oder gestreuten Objektwelle mit einer Referenzwelle.de621Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche unter Verwendung einer länglichen Blendepatent102014223747