Gommel, UdoUdoGommel2022-03-112022-03-112012https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/375707- Branchen, Technologien und Reinheitsanforderungen - Motivation - Betrachtete Kontaminationsarten - Partikel, Ausgasung, Reinigbarkeit, Verstoffwechsbarkeit, Mikrobizidität, ESD-Anforderungen - Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von - Betriebsmitteln - Werkstoffen / Materialien - Verbrauchsmaterialien.deReinraumtauglichkeitVDI 2083Partikelkontaminationconference paper