Braun, UlrikeUlrikeBraunHagendorf, ChristianChristianHagendorfKaufmann, KaiKaiKaufmann2022-03-082022-03-082019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/312316Die vorliegende Erfindung betrifft ein Filtersubstrat zur Filterung und optischen Charakterisierung von Mikropartikeln. Das Filtersubstrat umfasst einen Wafer mit einer Dicke von mindestens 100 µm und einem Transmissionsgrad von mindestens 10 % für Strahlung im Wellenlängenbereich von 2500 nm bis 15000 nm. Zudem ist die Oberfläche der Vorderseite und/oder die Oberfläche der Rückseite des Wafers vollständig oder bereichsweise mit einer Antireflex-Schicht versehen ist, die eine optische Reflexion von Strahlung im Wellenlängenbereich von 200 nm bis 10000 nm verhindert. Ferner weist der Wafer zumindest bereichsweise Filterlöcher mit einem Durchmesser von 1 µm bis 5 mm auf. Mit dem erfindungsgemäßen Filtersubstrat sind eine Filterung von Mikropartikeln sowie eine anschließende optische Charakterisierung der Mikropartikel auf dem Filtersubstrat mit einer sehr hohen Messqualität möglich. Zudem betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Filtersubstrats sowie die Verwendung des erfindungsgemäßen Filtersubstrats.depatent102018205529