Reichling, M.M.ReichlingKaiser, N.N.KaiserBodemann, A.A.Bodemann2022-03-032022-03-031994https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/185050Bei der Entwicklung immer leistungsfähiger Lasersysteme stellen die Beschichtungen der optischen Komponenten zur Strahlerzeugung und Strahlführung eine Herausforderung an den Schichthersteller dar. Neue Fertigungstechniken und die Berücksichtigung neuester Erkenntnisse, die mit optischen und nichtoptischen Charakterisierungsmethoden gewonnen wurden, erlauben heute UV-Spiegel höchster Laserfestigkeit herzustellen. Am Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF) Jena wurde ein Höchstwert im Einzelschußregime von 16 J/cm2 bei 248 nm erreicht. Entscheidend bei der weiteren Verbesserung der Laserfestigkeit der Schichtsysteme ist es, Absorptionszentren in den optischen Schichten zu vermeiden. Die Photothermik erlaubt den Nachweis minimaler Absorptionen mit Mikrometerauflösung.deDünne optische Schichtexcimer laser opticsfluoride thin filmsFluoridschichtlaser induced damage thresholdLaserzerstörschwelleoptical coatingoptical thin filmsoxide thin filmsOxidschichtultraviolet spectral regionultravioletter SpektralbereichUV620530journal article