Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbau

Dittrich, C.C.DittrichForke, RomanRomanForkeHiller, KarlaKarlaHillerKreutziger, P.P.KreutzigerKuerschner, R.R.KuerschnerMeinecke, Christoph RobertChristoph RobertMeineckeReuter, DannyDannyReuterWeidlich, SebastianSebastianWeidlichStreit, PetraPetraStreitHahn, SusannSusannHahn2022-03-142022-03-142018https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/402536deEntwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbauconference paper