Koka, AshrafAshrafKoka2022-03-062022-03-061999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/273595deHaftqualitätSiliziumUltraschallWafer620658670Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Waferndiploma thesis