Bürger, FrankFrankBürger2022-03-112022-03-112011https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/372261Der Nachweis spezifischer Qualitäten reiner Fertigungsbereiche muss entsprechend gültiger Regelwerke und Anforderungen erbracht werden. Neben der Bestimmung der Luftreinheitsklasse nach ISO 14644-1 sind weitere Untersuchungen notwendig. Beispielweise die Bestimmung der Druckdifferenz zur Umgebung, die Strömungsgeschwindigkeit, Strömungsform, Filterlecktest, etc. In der VDI 2083 Blatt 3 werden verschiedene Untersuchen dazu beschrieben.deReinraumabnahmeMesstechnikReinraumklasseKlassifizierungPartikelzählerMessenReinraumKlassifizieren620conference paper