Arnold, SteffenSteffenArnoldNeumann, FrankFrankNeumannReiff, Ellen-ChristineEllen-ChristineReiff2022-03-042022-03-042014https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/236229dePiezoaktorMikrostrukturierung660Piezoaktoren beschleunigen die Mikrostrukturierungjournal article