Klumpp, B.B.KlumppSchmutz, W.W.Schmutz2022-03-022022-03-021988https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/175320Die hohen Anforderungen an reinraumtaugliche Prozeßgeräte und -peripherie machen eines unumgänglich: Über den "Reinheitsgrad" der Komponenten müssen zuverlässige und gesicherte Daten vorliegen. Das neu eröffnete Prüfzentrum im IPA kann dem Anwender hierbei wertvolle Hilfestellung geben. (IPA)deMikroelektronikProzeßgerätPrüfzentrumReinraumtauglichkeitReinraumtechnik670338journal article