Weichert, GerhardGerhardWeichert2022-03-062022-03-061993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/271969Die zunehmende kommerzielle Nutzung des Elektronenstrahltestes (ESTs) zur Fehleranalyse, Designverifikation und Produktionskontrolle Integrierter Schaltungen macht eine umfassende Automatisierung und Optimierung von EST Systemen unumgänglich. Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich in diesem Zusammenhang mit drei Detailproblemen: Messungen an passivierten Schaltungen, dem Einsatz eines Expertensystems zur Kontrolle von Elektronenstrahltestern und Problemen der CAD Kopplung. Schwerpunkt sind die Untersuchungen zur Verbesserung der Genauigkeit und Reproduzierbarkeit von Messungen an mit Schutzoxid überzogenene Schaltungen. Hierauf aufbauend wird ein neues Meßverfahren, das Verfahren der Gepulsten Hochspannungsextraktion, vorgestellt. Es ermöglicht durch eine kontrollierte Ladungskompensation die Messung an passivierten Schaltungen mit Extraktionsfeldstärke von mehr als 500 V/mm.deComputer Aided Design (CAD)CATerror analysisExpertensystemFehleranalysehigh voltage extractionHochspannungsextraktionmeasurementMeßtechnikmicroelectronicsMikroelektronikPassivierungRasterelektronenmikroskoprechnerunterstützter Entwurfscanning electron microscopy621doctoral thesis