Phataralaoha, A.A.PhataralaohaBüttgenbach, S.S.BüttgenbachSchiffmann, K.K.SchiffmannSick, J.-H.J.-H.SickBandorf, R.R.BandorfKüster, R.R.Küster2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/350712Ein großes Lösungspotenzial für die Optimierung der Reibung im Bereich der Mikroaktorik liegt in der modernen Dünnschichttechnologie. Es wurden hierzu wasserstofffreie amorphe Kohlenstoffschichten (a-C), die auf Grund ihrer niedrigen Herstellungstemperaturen und guten Reibungseigenschaften besondere Bedeutung für mikrotechnische Anwendungen besitzen, auf strukturierten Proben abgeschieden und tribologisch charakterisiert. Durch die Mikrostrukturierung der Proben konnte eine Senkung des Reibungskoeffizienten um 20 % erreicht werden. Die Ergebnisse wurden eingesetzt, um die Reibung bei linealen Mikroführungen zu reduzieren.de667conference paper