Under CopyrightRühe, J.Weber, E.Moldovan, AnamariaAnamariaMoldovan2022-03-0727.8.20162016https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/28106910.24406/publica-fhg-281069Mit einem stetig zunehmenden Anteil hocheffizienter Solarzellkonzepte mit oberflächensensitiven Passivierschichten, ändern sich gleichzeitig die Anforderungen an die Reinheit und Beschaffenheit der Ober- und Grenzfläche zwischen dem Si-Basissubstrat und der Passivierschicht. In dieser Arbeit wurden für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen ozonbasierte Reinigungs- und Konditionierungsmethoden entwickelt. Diese sind geeignet im industriellen Maßstab Silizium-Wafer von Kontaminationen zu reinigen und die Eigenschaften der Ober- und Grenzfläche, anwendungsspezifisch auf die verwendete Passivierschicht angepasst, vorzubereiten. Der Fokus lag auf der Herstellung und Charakterisierung von ultra-dünnen SiOx-Schichten für das TOPCon Zellkonzept.deanalytical chemistryalternative & renewable energy sources & technologynanotechnologyindustrial chemistry & chemical engineeringSolarenergieindustrielle ChemieFertigungstechnologieTechnologieNanotechnologieanalytische Chemieindustrielle AnwendungWissenschaftler621697doctoral thesis