Betz, H.H.BetzHeuberger, A.A.Heuberger2022-03-082022-03-081981https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/313271enLithographieRöntgenstrahlenStand der TechnikPresent status and problems of X-ray lithography.Derzeitiger Stand und Probleme der Roentgenlithographieconference paper