Gillner, A.A.Gillner2022-03-102022-03-102004https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/345615Nachdem die klassischen Bereiche der Mikrotechnik, die Elektronik und die Mikrosystemtechnik durch Laserverfahren bereits erschlossen wurden, erweitert sich das Anwendungsspektrum jetzt auf die Miniaturisierungstendenzen der Feinwerktechnik sowie der Biotechnologie. Durch die Verfügbarkeit neuer Strahlquellen, wie diodengepumpter Festkörperlaser, Diodenlaser, Kurzpulslaser und DUV-Strahlquellen ergeben sich neue Fertigungsmöglichkeiten mit bis dahin nicht erreichbaren Bearbeitungsdimensionen. Dadurch eröffnen sich für viele Anwender neue Produktfelder und Geschäftszweige mit großer Breitenwirkung und zukunftsweisenden Entwicklungslinien, die für Anwendungen in der Elektronik, der Automobilindustrie, der Medizintechnik und der Feinwerktechnik zu neuen Produkten führen.de621conference paper