Hauer, BenediktBenediktHauerBuchta, DominicDominicBuchta2023-01-052023-01-052022https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/43058610.1007/s35144-022-2359-7Infrarotmesstechnik bietet eine Möglichkeit, ultradünne Beschichtungen deutlich unter 100 nm Dicke schnell, genau und zerstörungsfrei nachzuweisen und zu vermessen. Im Gegensatz zu anderen Methoden ist dies auch auf dreidimensional geformten Oberflächen möglich und kann leicht zu einer parallelisierten Prozessüberwachung in der Linie ausgebaut werden.deUltradünne SchichtenInfrarot-MesstechnikProzessüberwachungjournal article