Mokwa, W.W.Mokwa2022-03-032022-03-031992https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/181680Die Erwartungen an die Mikrosystemtechnik sind gleichbleibend hoch, obwohl heute jedem klar sein sollte, daß der Mikroroboter, der selbstätig Wartungs- und Reinigungsarbeiten durchführen kann, sich in absehbarer Zeit nicht realisieren lassen wird. Dennoch gibt es in der Sensortechnik eine Reihe interessanter Anwendungen für diesen Zweig der Hochtechnologie.deDrucksensorMikrosystemtechnikOberfläche621690journal article