Kießling, JensJensKießlingWolf, SebastianSebastianWolfTrendle, TobiasTobiasTrendleKühnemann, FrankFrankKühnemann2024-05-272024-05-272022-06-08https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/468812Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Spektroskopie an einer Probe, wobei das Verfahren die Messschritte aufweist, Erzeugen elektromagnetischer Anregungsstrahlung mit einer Mehrzahl von über eine Anregungsbandbreite verteilten Anregungsfrequenzen, Modulieren einer Intensität der Anregungsstrahlung bei jeder aus der Mehrzahl von Anregungsfrequenzen mit einer Modulationsfrequenz, räumliches Aufspalten der Anregungsstrahlung in Abhängigkeit von der Mehrzahl von Anregungsfrequenzen, Beleuchten der Probe mit der räumlich aufgespaltenen Anregungsstrahlung an einer Mehrzahl von Anregungsorten in oder auf der Probe, sodass die Mehrzahl von Anregungsfrequenzen der Anregungsstrahlung über die Mehrzahl von Anregungsorten in oder auf der Probe verteilt ist, an einer Mehrzahl von Erfassungspositionen, Erfassen zumindest einer Amplitude oder einer Phase einer Mehrzahl von Schallwellen, die von der Anregungsstrahlung an der Mehrzahl von Anregungsorten in oder auf der Probe erzeugt werden, und Bestimmen eines Maßes für eine Absorption der Anregungsstrahlung durch die Probe in Abhängigkeit von der Mehrzahl von Anregungsfrequenzen aus einer räumlichen Verteilung zumindest der Amplitude oder der Phase des Schallwellen über die Mehrzahl von Erfassungspositionen.depatentEP4009035 A1EP20200212249