Csepregi, L.L.CsepregiSeidl, H.H.Seidl2022-03-022022-03-021983https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/171700deAnisotropieÄtztechniksensorSilizium621Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensorenjournal article