Dreizner, A.A.DreiznerFlorenz, W.W.FlorenzLange, U.U.LangeLukat, K.K.LukatMiskowiec, P.P.MiskowiecScharfe, R.R.ScharfeStephan, R.R.StephanWagner, H.H.Wagner2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/333115Folgende Beiträge wurden im Rahmen der Projektarbeiten erbracht: AFM-Untersuchungen technologiebedingter Rauhigkeiten von Si-OF. Entwicklung von Tools für Zuverlässigkeitsuntersuchungen an dünnen Gateoxiden. Modellierung von GOX-Ausfallzeit-Verteilungen. Analyse von Lebensdauer-Modellen von MOS-Kapazitäten. Entwicklung eines neuartigen WLR-Verfahrens für das Screening von Transistoren. Bereitstellung von zwei WLR-Tests für Elektromigrationsmessungen an Leitbahnen und Hot Carrier Tests an bipolaren Transistoren. Mitwirkungsleistungen bei der Herstellung der Meßbereitschaft von zwei WLR-Meßplätzen bei den Industriepartnern (Konzept, Software, Training, Spezifikationen, Referenzmessungen). Entwicklung eines Defekt Management Clusters im MEM-Komplex.deQM-SystemQualitätssicherung621conference paper