Bartzsch, HagenHagenBartzschFrach, PeterPeterFrachBarth, StephanStephanBarthEng, LukasLukasEngDerenko, SusanSusanDerenko2022-03-082022-03-082017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/311122Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Rod-Array-Anordnung umfassend folgende Schritte: Ausbilden eines Schichtsystems auf einem starren Substrat, indem vom Substrat aufwärts betrachtet folgende Schichten nacheinander abgeschieden werden: eine Opferschicht, eine leitfähige Schicht, eine Aluminium-basierte Schicht; Anodisieren der Aluminium-basierten Schicht in einer Säure derart, dass sich eine poröse Aluminiumoxid-basierte Matrix ausbildet; teilweises Entfernen der Matrix derart, dass ein direkter Kontakt zwischen den Poren und der leitfähigen Schicht entsteht; Befüllen der Poren mit einem Rods bildenden Material; Entfernen der Matrix unter Ausbildung eines Rod-Arrays; Einbetten des Rod-Arrays in ein flexibles Trägermaterial; Ablösen des eingebetteten Rod-Arrays samt leitfähiger Schicht vom Substrat mittels Entfernen der Opferschicht. Zudem wird eine Rod-Array-Anordnung angegeben.de620patent102015117834