Kluge, A.A.KlugeGrimme, R.R.Grimme2022-03-092022-03-091996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/327088Geräteangebot: Ergebnis für Mikrosystemhersteller unbefriedigend. Es müssen neue Ansätze verfolgt und realisiert werden. Es ist technisch und organisatorisch möglich, die neue Kombination von Anforderungen zu erfüllen. Beispielhaft wurde ein Gerät für die Naßbearbeitung konzipiert. Andere Geräte und Verfahren können in ähnlicher Weise für die Mikrosystemtechnik erschlossen werden.deHerstellerlackierenMikrosystemMikrosystemtechnikMikrotechnikNaßlack-BeschichtungSpray-SpinSprühen670conference paper