Lenk, A.A.LenkSchultrich, B.B.SchultrichWitke, T.T.WitkeWeiß, H.-J.H.-J.Weiß2022-03-092022-03-091997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/328185enPlasma-DiagnostikPLDFaserbeschichtungLaser-VerfahrenLaserchemie667621671669Energy and particle fluxes in PLD processesconference paper