Keller, J.J.KellerVogel, D.D.VogelMaus, I.I.MausGollhardt, A.A.GollhardtMichel, B.B.Michel2022-03-112022-03-112010https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/366444de621Verfahren zur Bestimmung von Deformationen im Mikro- und Nanobereichconference paper