Schünemann, M.M.SchünemannGrimme, R.R.GrimmeSchwaab, G.G.SchwaabSchäfer, W.W.Schäfer2022-03-092022-03-091996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/326548deFertigungMikroFabMikrofabrikationstechnikMikrosystem670conference paper