Heinß, J.-P.J.-P.HeinßMetzner, C.C.Metzner2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/347643deHartstoffschichtdünne Schicht667670620Verschleißarme Hartstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Bedampfung mit Raten von 100 nm/sconference paper