Maier, M.M.MaierKöhler, KlausKlausKöhler2022-03-082022-03-081993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/321390encarbon phase analysisKohlenstoffphasenanalyseMBESIMS621667Phase analysis of interfacial carbon in GaAs grown by molecular beam epitaxyPhasenanalyse von Kohlenstoff an der Grenzfläche Molekularstrahl-epitaktisch gewachsener Schichten auf GaAs-Substratconference paper