Entwicklung von Düsenkonzepten für flächig homogene Beschichtungen mittels eines CVD-Prozesses bei Atmosphärendruck

Rikeit, Horst-ErichMayer, BerndGünay, MustafaMustafaGünay2015https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/280559de620660671Entwicklung von Düsenkonzepten für flächig homogene Beschichtungen mittels eines CVD-Prozesses bei Atmosphärendruckmaster thesis