Frach, P.P.FrachGoedicke, K.K.GoedickeJunghaehnel, M.M.JunghaehnelKirchhoff, V.V.KirchhoffWinkler, T.T.WinklerHandt, K.K.Handt2022-03-082022-03-082001https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/305137de608667670620Verfahren und Einrichtung zur pulsfoermigen Energiezufuehrung fuer ein Niederdruckplasma und deren Anwendungpatent1999-19937621