Höpner, A.A.HöpnerAs, D.J.D.J.AsKöhler, KlausKlausKöhlerMaier, M.M.Maier2022-03-082022-03-081992https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/319631encompositional analysismolecular beam epitaxyMolekularstrahlepitaxieQuantentrog-Schichtdickequantitative Analysequantum well widthsecondary ion mass spectrometrySekundärionen-Massenspektrometrie621667Compositional analysis of MBE pseudomorphic InGaAs/AlGaAs/GaAs structures by determination of film thickness with SIMSAnalyse der Zusammensetzung MBE gewachsener pseudomorpher InGaAs/AlGaAs/GaAs-Strukturen durch Bestimmung der Schichtdicken mit der SIMSconference paper