Lange, U.U.Lange2022-03-062022-03-061997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/272874deGate-OxidSchaltkreisSchichtdickenmessungZuverlässigkeit621Implementierung und Bewertung verschiedener Modelle zur Beschreibung von Degradationsprozessen in höchstintegrierten Bauelementen zur Lebensdauerprognose integrierter Schaltungendiploma thesis