Bürger, FrankFrankBürgerKreck, GuidoGuidoKreck2022-03-102022-03-102008https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/360655- Beschreibung von allgemeinen Anforderungen an Verbrauchsmittel im Reinraum - Aufführen von Messmethoden und Messtechnik - Erläuterungen zu Prüfungen und Bewertung der Messergebnisse - Einordnung der Ergebnisse anhand anerkannter Regelwerke - Nennung von Beispielergebnissen.deReinraumtauglichkeitReinraumtauglichkeitsuntersuchungenReinraum620Reinraumtauglichkeit von Verbrauchsmaterialien - Anforderungen und Prüfmöglichkeitenpresentation