Ernst, ChristianChristianErnst2022-03-112022-03-112011https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/372248Partikelmessung in Flüssigkeiten erfolgt zur Überwachung von Medienversorgungssystemen, Qualifizierung von Komponenten oder Charakterisierung von Flüssigkeitsproben. Im Submikronbereich werden Streulichtpartikelzähler eingesetzt, ab ca. 2 µm Extinktionspartikelzähler. Die Probenahme, das Probenhandling und die Umgebungsbedingungen haben speziell bei Batch-Proben einen erheblichen Einfluss auf das Messergebnis. Reinstmedienversorgungssysteme, insbesondere für Reinstwasser und Reinstgase sind für höchste Fluidqualitäten erhältlich und stellen hohe Anforderungen an die Qualitätskette, beginnend bei den Ausgangsmaterialien bis hin zur Systeminstallation.deLatexpartikelPartikelmessungProbenahmeProzeßkontrolleReinstmedienStreulichtoptischer PartikelzählerMessenKalibrieren620conference paper