Seitz, D.D.SeitzGeissinger, J.J.Geissinger2022-03-022022-03-021988https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/175044Die Fertigung in Reinräumen umfaßt heute neben der Halbleiterfertigung auch mehr und mehr Teilbereiche der Leiterplatten-Fertigung und Geräte-Montage. Dementsprechend gilt es, Anforderungen und Planungskriterien sorgfältig abzuwägen. Welche Rolle die Handhabungs-Technik dabei spielt und wie eine konkrete Lösung für Naßprozesse in der Halbleiterfertigung aussehen kann, zeigt der folgende Beitrag.declean roomFertigungHalbleiterHandhabungstechnikhandlingmanufacturingplanningPlanungReinraumsemiconductor670621journal article