Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxid

Ambacher, O.Cimalla, VolkerMischo, M.M.Mischo2022-03-072022-03-072016https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/281275de667Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxiddoctoral thesis