Amiri Jam, K.K.Amiri JamHillmann, V.V.HillmannBraun, T.T.BraunBecker, K.-F.K.-F.BeckerAnsorge, F.F.AnsorgeGroßer, V.V.GroßerReichl, H.H.Reichl2022-03-092022-03-092000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/335939en621Mechatronic solutions for modular MEMSconference paper