Pohl, F.F.PohlKoidl, P.P.KoidlWagner, J.J.WagnerWild, C.C.Wild2022-03-022022-03-021986https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/17388010.1063/1.96967enAbscheidungPlasmacharakterisierung(optisch)621667Optical studies of hydrogenated amorphous carbon plasma depositionjournal article