Warnecke, H.-J.H.-J.WarneckeFrühauf, W.W.FrühaufMann, R.R.MannOlbrich, W.W.OlbrichSchmutz, W.W.Schmutz2022-03-022022-03-021989https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/177113Die extrem hohen Anforderungen bei der Fertigung hochintegrierter Schaltkreise z.B. an Qualität, Ausbeute der Bauelemente und die Reproduzierbarkeit von Fertigungsvorgängen können, falls der Trend hin zu kleineren Strukturen weiter anhält, in Zukunft nicht mehr mit herkömmlichen, labormäßigen Fertigungsmethoden erfüllt werden. Um höhere Produktqualität und Wirtschaftlichkeit zu erreichen, müssen automatisierungsgestützte Fertigungsmethoden angewandt werden.deFertigungFlexibles Prozeßzentrummodulmodul 6000modulsystemProzeßmodul670621journal article