Ruske, F.F.RuskeSittinger, V.V.SittingerWerner, W.W.WernerSzyszka, B.B.SzyszkaOsten, K.U. vanK.U. vanOsten2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/349418de667Wasserstoffdotierung von ZnO:Al-Schichten aus keramischen Targetsconference paper