Schlenker, DirkDirkSchlenkerOthman, NabihNabihOthman2022-03-032022-03-032007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/212777Für die Erzeugung definierter funktionaler Mikrostrukturen steht mit dem Mikrodispensen ein vielversprechendes Auftragsverfahren zur Verfügung. Für die industrielle Anwendung wird jedoch nicht nur eine leistungsfähige und zuverlässige Systemtechnik benötigt. Beim Mikrodispensen liegt die besondere Schwierigkeit darin, dass eine Vielzahl von Einflussparametern prozesssicher zu beherrschen ist.deMikrosystemtechnikMikrodispensenmicro-dispensingMikrostrukturProzeßüberwachungProzeßregelungSchutzschicht620journal article