Hydrogen content and mechanical stress in glow discharge amorphous silicon

Paduschek, P.P.PaduschekEichinger, P.P.EichingerKristen, G.G.KristenMitlehner, H.H.Mitlehner2022-03-082022-03-081981https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/313248enPlasmaabscheidungPlasmaentladungSiliziumWasserstoffgehaltHydrogen content and mechanical stress in glow discharge amorphous siliconWasserstoffkonzentration und mechanische Spannung in amorphem Plasmasiliziumconference paper