Werner, D.D.Werner2022-03-092022-03-091998https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/330628Aufzeigen und detaillierte Beschreibung von Verfahren zur Beurteilung der Verunreinigung technischer Oberflächen mit Partikeln und filmischen Stoffen. Klassifizierung von Anforderungen an Materialien der Fertigungsumgebung.deAbsaugverfahrenFertigungsumgebungKontaktwinkelverfahrenKontaminationKontaminationsüberwachungOberflächenanalysePartikelemissionReine ProduktionReinraumtechnikTapelift-Verfahren670conference paper