Mokwa, W.W.Mokwa2022-03-082022-03-081993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/321132Sensorsysteme auf Siliziumbasis befinden sich in einem unterschiedlichen Entwicklungsstadium. Mikrosysteme, die rein auf mikroelektronischen Komponenten basieren, werden schon jetzt industriell eingesetzt. Systeme mit Sensor- oder Aktorkomponenten, hybrid oder monolithisch integriert, stehen unmittelbar vor der Produkteinführung. Dieser Beitrag möchte an verschiedenen Beispielen Sensorsysteme für unterschiedliche Anwendungen vorstellen.demicroelectronicsmicromechanicsmicrosystemMikroelektronikMikromechanikMikrosystemtechnikmonolithische IntegrationSensorik621conference paper