Bubenzer, A.A.BubenzerKoidl, P.P.KoidlPohl, F.F.PohlDischler, B.B.Dischler2022-03-082022-03-081985https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/301897Bei einer Vorrichtung zum Auftragen harter Kohlenstoffschichten durch Hochfrequenzplasmaabscheidung wird die das zu beschichtende Substrat (19) tragende Elektrode (5) mit einer Quarzabdeckung (22) abgedeckt, die den Abschirmspalt (21) zwischen der Elektrode (5) und der diese teilweise umgebenden Abschirmung (17) ueberbrueckt. Zur Herstellung einer galvanischen Verbindung mit der Oberseite der Elektrode (5) ist der mittelere Bereich (26) der Quarzabdeckung (22) aus einer elektrisch leitenden Kohlenstoffmodifikation hergestellt.de608621667patent1983-3336652