Schroedter, RichardRichardSchroedterChe, XingqiXingqiCheRoth, MatthiasMatthiasRothSandner, ThiloThiloSandnerJanschek, KlausKlausJanschek2022-03-132022-03-132017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/399174de621Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannernconference paper