Fader, RobertRobertFaderLorenz, JürgenJürgenLorenzRommel, MathiasMathiasRommelBaum, MarioMarioBaumDanylyuk, SerhiySerhiyDanylyukGillner, ArnoldArnoldGillnerStollenwerk, JochenJochenStollenwerkBläsi, BenediktBenediktBläsi2022-03-052022-03-052018https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/252177deNanotechnologieEUVLaserLaserstrukturierungLaser-InterferenzlithographieNanoimprint-LithographieUV-SCILFIBfokussierter Ionenstrahl621621670620530697book article