Mann, D.D.Mann2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/324378Bei kombinierten Beschichtungsverfahren ist die Wahl des geeigneten Schichtaufbaus von großer Bedeutung. Durch Plasmabehandlung der Kunststoffsubstrate in Ätzgasgemischen mit einem hohen Sauerstoffgehalt (> 75%) kann die Haftfestigkeit der abgeschiedenen PVD-Metallschichten deutlich gesteigert werden. Bei PVD-Chromschichten werden generell höhere Haftfestigkeiten ermittelt als bei PVD-Kupferschichten. In den Versuchen hat sich gezeigt, daß sich dünne PVD-Kupferschichten nicht für eine galvanische Verstärkung eignen. Die ursprünglich hohe Haftfestigkeit der reinen PVD-Kupferschicht sinkt beim Verstärken soweit ab, daß die Schicht nur noch eine geringe Haftung aufweist, bzw. sich selbst vom Substrat löst. Durch das Abscheiden von Chrom/Kupfer-Mehrschichtsystemen können die gute Haftung der Chromschicht und die gute galvanische Verstärkbarkeit der Kupferschicht kombiniert werden. Dies wirkt sich insbesondere in einer gesteigerten Haftfestigkeit des Schichtverbundes aus.deAdhäsionBeschichtenBeschichten mit MetallBeschichten von KunststoffBeschichtungGalvanisierenHaftung (Werkstoff)KunststoffMetallisierenPhysikalisches AufdampfenPlasma-BeschichtungPlasmaätzenPVD (Physical vapour deposition)670conference paper