Hackner, M.M.HacknerErnst, R.R.ErnstHohe, H.H.Hohe2022-03-082022-03-082005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/306841Die vorliegende Erfindung betrifft einen vertikalen Hall-Sensor, bei dem sich ein elektrisch leitfaehiges Gebiet zur Bildung eines Hall-Sensorelementes senkrecht zur Oberflaeche eines Substrates in das Substrat erstreckt und mehrere erste Anschlussbereiche entlang einer Seitenflaeche an der Oberflaeche des Substrates aufweist. Der vorliegende Hall-Sensor zeichnet sich dadurch aus, dass zumindest ein zweites gleichartiges Hall-Sensorelement parallel zum ersten Hall-Sensorelement im Substrat angeordnet und derart mit dem ersten Hall-Sensorelement verschaltet ist, dass beim Betrieb des Hall-Sensors mit einer Spinning-Current-Technik in jeder Spinning-Current-Phase die gleiche Kombination von Steuerstromverteilungen im Hall-Sensor erhalten wird. Der vorliegende vertikale Hall-Sensor ermoeglicht beim Betrieb mit einer Spinning-Current-Technik eine deutliche Reduzierung des Offsets ohne die Notwendigkeit einer Gewichtung der einzelnen Spinning-Current-Phasen.WO2003036733 A UPAB: 20030624 NOVELTY - The device has a first conducting region forming a first Hall sensor element perpendicular to a substrate surface, connection regions along a substrate side surface and at least one similar sensor element in the substrate parallel to the first and connected to it. When operating the device with a spinning current technique the same combination of control current distributions occurs in the sensor for each spinning current phase. USE - For contactlessly detecting switch or control element positions. ADVANTAGE - Significantly reduced offset with spinning current operation without weighting individual spinning current phases.de608patent2001-10150955