Salz, D.D.SalzVissing, K.K.Vissing2022-03-102022-03-102007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/356028Plasmaprozesse zur Erzeugung von abrasionsfesten Beschichtungen auf Kunststoffen, speziell Polycarbonat, müssen eine hohe Abscheiderate und eine einfache Aufskalierbarkeit aufweisen sowie zu homogenen Schichten führen. lonengestützte Verfahren, welche die Self-Bias-Spannung auf der HF-Plasmaelektrode ausnutzen, sind geeignet abrasionsfeste und hochflexible Beschichtungen auch auf stark gekrümmten Bauteilen zu erzeugen. Die Abscheiderate steigt bei Erhöhung der Self-Bias-Spannung. Wird die Plasmaelektrode der Form des zu beschichtenden Bauteils angepasst, so entsteht eine sehr homogene Beschichtung auf dem Substrat Es konnte weiterhin gezeigt werden, dass sich solche Prozesse leicht aufskalieren lassen, da im Experiment lediglich eine lineare Abhängigkeit zwischen Elektrodenfläche und aufzubringender Plasmaleistung gefunden wurde. Entnommen aus <a_href="http://www.fiz-technik.de/db/b_tema.htm" target="_blank">TEMA</a>deKunststoffPolycarbonatOberflächenbeschichtenPlasmabeschichtenAbriebfestigkeitFlexibilitätBeschichtung auf KunststoffAbscheidungsrate620660671conference paper