Gengenbach, U.U.GengenbachEberhardt, R.R.Eberhardt2022-03-032022-03-032000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/197270Mikrosysteme sind häufig aus mehreren Komponenten und unterschiedlichen Materialien aufgebaut. Für die Montage sind definierte Schnittstellen gefragt, die sich schnell umrüsten lassen. Die Grundlagen für solche Montagesysteme sind bereits weitgehend verfügbar.dehybrides MikrosystemMontage620journal article