Zuverlässigkeitsuntersuchungen an AlN-Verbunden, angewendet auf die Mikrosystem-Modultechniken

Auerswald, E.E.AuerswaldDudek, R.R.DudekFaust, W.W.FaustKämpfe, B.B.Kämpfe2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/325165de621Zuverlässigkeitsuntersuchungen an AlN-Verbunden, angewendet auf die Mikrosystem-ModultechnikenInvestigations of reliability at AIN-joints used at microsystem-modultechniquesconference paper